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微米技術及晶圓處理

 微米技術及晶圓處理

绝地求生图片高清壁纸 www.tklop.icu     在微米工程等級的應用以及晶圓設備中尤其重視絕對精度及潔凈室適用性。采用線性馬達高精度XY平臺為最佳選擇。

?行程200 mm x 200 mm, 亦可選購 300 mm x 300 mm

?全行程平面度±4μm

?各軸重現性±1μm

?各軸精度±4μm

?潔凈室等級100適用, 亦可選購等級10

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